1.Batch式高真空蒸发设备ei系列是可对应在基板上成金属膜或氧化物膜的设备。可通过操作面板进行集中控制，实现抽真空、成膜等作业内容的集中自动化操作，适用于研究开发及少量生产
2.蒸发材料：金属，ITO，二氧化硅等材料

产品特性 / Product characteristics

• 金属，合金，非金属，化合物等材料的高品质蒸发镀膜

• 镀膜精度高，可达10E^-10m

• 蒸发镀膜的纯度高，附着力强

• 镀膜的均匀性好，重复性优异

• 配置离子源进行表面处理

• 配置热阻蒸发，省材料

• 上位通信，材料扫描功能

• C2～12inch，不定型片，方片蒸发

产品应用 / Product application

• 功率器件

• LED

• 光通信/传感器

• LD

• 高校及研究所等