江苏苏州苏州工业园区产业创新中心中为柔性研究院
凭借对各种类型样品进行精确3D测量的能力,系统可提供用于质量保证和工艺控制的可靠数据。
405纳米紫色激光和专用高数值孔径物镜可以捕捉到传统光学显微镜、白光干涉仪或红色激光显微镜难以发现的精细纹理和缺陷。 | ||
红光型(658纳米:0.26微米空间) | 微米紫光型(405纳米:0.12线和空间) |
LEXT专用物镜可精确测量采用其他方式测量会发生畸变的周边区域。
传统物镜
LEXT物镜
快速采集结果:高速扫描
该显微镜的扫描算法既可提高数据质量又可提高速度,从而缩短您的扫描时间,简化您的工作流程,zei终实现生产力的提升。
PEAK算法
VLSI标准80纳米高度样品(MPLFLN10XLEXT)
OLS5000显微镜采用了用于3D数据构建的PEAK算法。该算法可获得从低倍率到高倍率的高精度数据,并可缩短数据采集时间。
高效率工作:简单的操作程序
系统具有自动数据采集功能,因而无需进行复杂的设置调整。甚至普通用户也可以获得准确的检测结果。
灵活:可测量尺寸较大的样品
OLS5000显微镜的扩展架可容纳高达210毫米的样品,而超长工作距离物镜能够测量深度达到25毫米的凹坑。 | |||
连杆 | 刀具 | 活塞头 |