产地:美国; 品牌:TMC
发布时间:2024年01月
行程为205毫米×205毫米(8")
单向重复精度达0.05微米
速度达90毫米/秒
两相步进电机或直流电机
增量线性编码器分辨率为1纳米
20000次脉冲/分辨率的旋转编码器
Newport三轴高分辨率棱镜倾斜调整架镜架