市场上最精确的纳米划痕测试仪器是NST³。这款设备专门用于评估薄膜和涂层在典型厚度小于1000nm的情况下的抗划伤性能和结合力。NST³可应用于有机和无机涂层，以及软硬涂层的分析。测量头采用了专门设计的独特结构，包含两个传感器，用于测量表面受到的压入载荷和压入位移。这些特点提供了快速的响应时间（低至毫秒级）、优异的准确度和高度灵活的划痕测试能力。设备还拥有全景成像模式，能够自动将完美对焦的整个划痕的全景图像与所有传感器的划痕数据同步，从而进行临界载荷分析。NST³采用双悬臂梁来施加载荷，并搭配压电陶瓷驱动器，能够迅速响应施加的载荷。此设计理念还能够校正划痕测试过程中发生的任何情况所产生的测试结果偏差。NST³还包含闭环主动力反馈系统，用于准确施加所需的力和提供更精确的纳米划痕测试。设备还包括一个实际位移传感器，用来监测划痕测试针尖的垂直运动。利用独特的前扫描和后扫描模式技术，能够评估材料的弹性、塑性和粘弹性。另外，NST³还能进行多次后扫描模式，评价残留深度，并了解表面变形性能与时间的依赖关系。技术规格包括最大载荷、载荷分辨率、最大摩擦力、摩擦力分辨率、最大位移、深度分辨率、数据采集频率、划痕速度等信息。