根据仪器化压入测试(IIT)的要求，微米压痕仪非常适合于测量硬度和弹性模量等机械性能。无论是块状样品还是薄膜，从软材料到硬材料（金属、陶瓷、聚合物），都可以进行大位移测量（最大1mm）。并且根据需要添加划痕测试模式。
仪器化压入测试(IIT)用于持续测量载荷和相关的位移，从而获得材料的硬度和弹性模量。一台仪器即可进行从纳米到宏观尺度的压痕。无论是小位移（几纳米）还是大位移（最大1mm），都可以进行测量。并且大载荷范围（从10mN到30N）可满足样品特性的要求。大载荷范围对于测量粗糙表面尤为有用。
高精度的位移和载荷可以进行精确的微米压痕测量。具有两个独立的传感器：一个用于载荷，一个用于位移，来进行准确的计量测量。框架刚度高达2x10^8N/m，具有更高的位移准确度。
对于材料性能的位移曲线，可获得连续多周期(CMC)的位移曲线。并且支持压入载荷和位移控制模式。通过可视点阵模式可以进行对样品进行多点定位测试。同时拥有多个测试模式，根据需要可使用用户自定义程序设置测试参数。
典型应用包括冶金、聚合物的表征、仪器化压痕热喷涂涂层的表征、涂层表面的物理特性分析以及胶凝的机械性能。技术规格如下：
- 最大载荷：30N，分辨率：6μN，本底噪音<100[rms][μN]*
- 最大位移：1000μm，分辨率：0.03nm，本底噪音<1.5[rms][nm]*
- 载荷框架刚度＞10^7N/m
符合国际标准ISO14577,ASTME2546,ISO6507,ASTME384*。
以上数值为理想实验室条件下规定的本底噪音值，并使用减震台。