Sigma系列产品是用于高品质成像与高级分析的场发射扫描电子显微镜。它具有灵活的探测功能和4步工作流程，并将高级的分析性能与场发射扫描技术相结合，利用成熟的Gemini电子光学元件。多种探测器可供选择，用于颗粒、表面或者纳米结构成像。Sigma半自动的4步工作流程节省大量的时间：设置成像与分析步骤，提高效率。Sigma300性价比高，而Sigma500装配有*的背散射几何探测器，可快速方便地实现基础分析。任何时间，任何样品均可获得精准可重复的分析结果。利用各种先进探测术为您的需求定制Sigma，以满足所有样品的表征需求。利用in-lens双探测器获取形貌和成份信息，并通过新一代的二次探测器获得高达50%的信号图像。利用Sigma创新的C2D和可变压力探测器，在低真空环境下获取高达85%对比度的锐利图像。4步工作流程让您控制Sigma的所有功能。在多用户环境中，首先导航样品，然后设置成像条件，接着优化样品区域并自动采集图像。*最后使用工作流程的*最后一步，将结果可视化。高级分析型显微镜将扫描电子显微镜与基本分析相结合：Sigma*的背散射几何探测器大大提升了分析性能，特别是对电子束敏感的样品。在一半的检测束流和两倍的速度条件下获取分析数据。获益于8.5mm短的分析工作距离和35°夹角，获取完整且无阴影的分析结果。基于成熟的Gemini技术Gemini镜头的设计可降低场对样品的影响，即使对磁性样品成像也能获得出色的效果。Geminiin-lens的探测确保了信号探测的效率，通过二次检测(SE)和背散射(BSE)元件同时减少成像时间。Gemini电子束加速器技术确保了小的探测器尺寸和高的信噪比。利用新的探测技术表征所有的样品。*在高真空模式下利用创新的ETSE和in-lens探测器获取形貌和高分辨率的信息。在可变压力模式下利用可变压力二次电子和C2D探测器获取锐利的图像。利用aSTEM探测器生成高分率透射图像。通过BSD4或者YAG探测器进行成份分析。Sigma300可提供集成式EDS解决方案:在低能量分析应用中同时实现高清晰度成像SigmaElement是一种集成式EDS解决方案，拥有高可用性和低电压灵敏度。仅需使用一台计算机来控制EDS和SEM，进而大大提升了该集成化解决方案的易用性。同时，借助专门为显微镜和EDS操作设计的用户界面可实现并行控制。•集成化：通过集成化，结合高清晰成像与快速分析，从而获得不错结果•定制化：根据不同的用户需求定制软件•灵敏度：独特的氮化硅窗口增强低能X射线的探测灵敏度 拉曼成像与扫描电镜联用系统:完全集成化的拉曼成像获取样品中化学结构的指纹信息：聚焦拉曼光谱成像可扩展您的蔡司Sigma300扫描电镜性能。分析获得样品分子结构和结晶信息。通过拉曼成像与EDS数据可进行3D分析并与SEM图像关联。完全集成化的拉曼成像扫描电镜联用系统使你充分发挥SEM和拉曼系统的功能型号：Sigma 300
分辨率：1.0nm@30kVSTEM、1.0nm@15kV、1.8nm@1kV
放大倍数：10-1,000,000×
加速电压：调整范围：0.02-30kV（无需减速模式实现）
探针电流：3pA～20nA（100nA选配）
稳定性优于0.2%/h
低真空范围：2-133Pa（Sigma300VP可用）
样品室：365mm（φ），275mm（h）
样品台：5轴优中心全自动
X=125mm
Y=125mm
Z=50mm
T=-10o-90o
R=360o连续
系统控制：基于Windows7的SmartSEM操作系统，可选鼠标、键盘、控制面板控制
存储分辨率：32kx24kpixels