超高的基本性能之外，观察性、操作性和耐久性都得到了显著提升。
大硅片直径为200mm观察倍率为15X～3000X，具体的倍率取决于视目镜和物镜的组合。
ECLIPSEL200N为反射照明专用，而ECLIPSEL200ND则是反射和透射照明专用。
观察性能提升扩大了检查范围，包括反射荧光观察（L200ND），UV（365nm)激发的反射荧光观察等。
使用物镜为CFILUPLANFLUOR10X硅片的明场观察、暗场观察、微分干涉观察和反射荧光观察。
电动水银光纤光源（L200ND）使用于反射荧光观察，采用预定心电动水银光纤光源[INTENSILIGHT]，无需进行灯丝调心和对焦。
12V50W的亮度和耗电量约是12V100W的一半，更加环保且可以防止焦面偏移的干扰。
主机、载物台、镜筒均涂有抗污染的防静电涂层，提高了抗污染能力。
三目镜筒可调节到最佳位置以便观察，可设定0～30°的观察角度。
无需移动工件就可以通过载物台微调手轮进行操作，控制全部操作部都集中于底座前部。
提升了显微操作效率和减轻了长时间观察的疲劳感。
显微镜和数码相机联动力得到了提升，实现了*佳整体化。同时支持从设定观察条件到数码拍摄、处理和分析的整个流程。
用于LSI检查显微镜ECLIPSEL200NWafer LoaderNWL200系列，能稳定传输超薄型100um硅片。

检查显微镜技术参数型号ECLIPSEL200N（反射照明专用）ECLIPSEL200ND（反射/透射照明专用）
主机内置12V-50W卤素灯光源；内置用于电动控制器的电源；用于物镜转换器的电动控制器、卤素灯照明控制、物镜：对中功能的电动通用六座物镜转换器——反射/透射转换调焦系统对焦部:行程29mm 粗调:12.7mm/转(可扭距调节.带重新对焦机能) 微调:0.1mm/转(以um为单位) 反射照明系统内置12V-50W卤素灯光源 电动孔径光阑（可调中心），固定视场光阑（带聚焦目标） 可安装小孔光阑滑块（可选），四个ø25mm滤光片（NCB11，ND16，ND4），起偏器/检偏器 观察方法：明场，暗场，简单偏光，微分干涉，落射荧光* **L300N/L300ND/L200ND照明系统—内置12V-50W高亮度卤素灯照明装置 内置孔径光阑 内置LWD聚光器端口USBx1，RS232C（用于Intensilight)x1 目镜筒L2-TTA超大视场正立调倾式三目镜筒（视角0～30°） 视场数25、光分光100：0/0：100L2-TT2A超大视场正立调倾式三目镜筒（俯角0～30°） 视场数25、光分光100：0/20：80LV-T13正立三目镜筒 视场数25、光分光100：0/0：100目镜CFI目镜物镜CFI60系列物镜载物台L2-S8A8x8载物台、行程205mmx205mm（透射观察范围：150mmx150mm） 带粗/微动切换功能;XY轴微调固定位置抗静电功能从1000到10V放电时间在0.2秒以内功率消耗1.2A/90W外形尺寸大约360 (W)x860(D)x580(H)mm（倾斜角度为10°时） 重量主机：大约30kg 整机重量：大约45kg（加上L2-S8A8x8底座和L2-TTA目镜筒时）