三菱锥压头，又名玻璃式（Berkovich）压头，是纳米压痕技术中广泛采用的一种压头，呈现为三菱锥形状。
通过使用这种压头加载在材料表面，然后测量压痕区域来评估材料的力学性能，这就是压痕技术。
传统的压痕方法是使用特定形状的压头在一定的压力下压入被测试的样品，然后保持一段时间再卸载。接着使用标尺或显微镜测量压头在材料表面留下的压痕半径或对角线长度，通过这种方式计算材料的硬度等力学性能参数值。这种方法测量直接且简单，但分辨率较低，即使使用透射电子显微镜等高精度仪器也只能测得压深不小于10um情况下的硬度。此外，这种方法的压痕尺度较大，不适用于测试薄膜厚度小于2um的薄膜材料的性能。
除此之外，这种方法是先加载再离线测量，因此实测的只是材料的塑性性能。随着现代微电子材料科学的发展，试样尺寸越来越小型化，传统的压痕测试技术已经无法满足新材料的需要。此外，材料科学家们不仅需要了解材料的塑性性质，还需掌握材料的弹性性质。
纳米压痕技术又称深度敏感压痕技术，它是通过计算机控制载荷连续变化，并在线监测压深量。由于采用的是超低载荷，再加上监测传感器具有比lm更好的位移分辨率，因此可以获得小到纳米级（O.1nm~100nm）的压深，适用于测试超薄层材料的性能。