Sigma系列产品是针对高品质成像和高级分析的场发射扫描电子显微镜。该系列产品具有灵活的探测功能，并采用4步工作流程，将高级的分析性能与场发射扫描技术相结合，利用成熟的Gemini电子光学元件。用户可以根据需要选择多种探测器，用于颗粒、表面或纳米结构成像。

Sigma系列产品带有半自动的4步工作流程，可节省大量时间，并提高工作效率。Sigma300产品性价比高，而Sigma500产品装配有背散射几何探测器，可快速便捷地实现基础分析。不论时间或样品类型，用户均可获得精准可重复的分析结果。此外，Sigma产品还可以根据需求定制灵活探测，利用先进的探测技术表征所有样品。

Sigma产品还具备自动化加速工作流程的功能，用户可以在多用户环境中从快速成像和节省培训方面获益。此外，Sigma系列产品集扫描电子显微镜与基本分析于一体，使用背散射几何探测器大大提升了分析性能，特别是对电子束敏感的样品。基于成熟的Gemini技术，其设计考虑了电场与磁场对光学性能的影响，并降低了场对样品的影响，使得即使对磁性样品成像也能获得出色的效果。

Sigma产品还集成了EDS解决方案，可以同时实现高清晰度成像和低能量分析应用。此外，还提供完全集成化的拉曼成像与扫描电镜联用系统，可以获取样品中化学结构的指纹信息，分析获得样品分子结构和结晶信息，并进行3D分析和SEM图像关联。

产品场发射扫描电子显微镜技术参数

型号：Sigma 300

分辨率：1.0nm@30kVSTEM、1.0nm@15kV、1.8nm@1kV

放大倍数：10-1,000,000×

加速电压：调整范围：0.02-30kV（无需减速模式实现）

探针电流：3pA～20nA（100nA选配） 稳定性优于0.2%/h

低真空范围：2-133Pa（Sigma300VP可用）

样品室：365mm（φ），275mm（h）

样品台：5轴优中心全自动

X=125mm Y=125mm Z=50mm T=-10o-90o R=360o连续

系统控制：基于Windows7的SmartSEM操作系统，可选鼠标、键盘、控制面板控制

存储分辨率：32kx24kpixels