Thermo Scientific™ Metrios™ AX S/TEM 是一款 60–200 kV 扫描/透射电子显微镜 (S/TEM)，它采用全新设计，能够在前所未有的通量水平上提供可重复的基于 TEM 和 STEM 的成像、分析和测量结果。Metrios AX S/TEM 配有一套软件，可支持提升生产率的自动化功能、基于机器学习的导航和全天候自动化等功能，确保您成功应对当前面临的挑战，并为您提供未来设计节点的路线图。

关键优势

智能自动化

Metrios AX S/TEM 是首款在其应用程序用户界面 (UI) 中使用机器学习以使自动化变得大众化的 S/TEM。该系统通过提供直观的工作流程（智能自动化）消除了自动化的障碍，该工作流程可在技术员级别进行操作，以便在从未见过的部件上进行稳健的数据采集，对于定义的使用情形，用时不到四小时。

一致对齐

Metrios AX S/TEM 通过其智能对齐软件跟踪稳定性窗口（保持在背景中）中的当前对齐状态和位置，以保持工具对齐并始终按照质量标准运行。

使用 S-CORR 进行先进的成像

使用新的 S-CORR 探头校正器，可以很容易地实现从 60 kV 到 200 kV 的亚埃 STEM 成像分辨率。Metrios AX S/TEM 配有 Panther STEM（先进 STEM 成像），这是一个全新的分段式 STEM 检测和数据基础设施单元。新的检测器几何结构具有先进的 STEM 成像能力以及测量单个电子的灵敏度和检测能力。

灵活性

Metrios AX S/TEM 专为实现前所未有的易用性而设计，是经验丰富的显微镜使用者和新用户的理想选择。灵活的 UI 允许进行方法驱动、全自动计量和采集、半自动操作或手动数据采集。

赛默飞Metrios AX TEM半导体计量透射电镜

• 支持质量、一致性、计量以及减少 OPEX 的自动化选项

• 充分利用机器学习实现出色的自动功能和特征识别

• 适用于原位和非原位两种薄片制备的工作流程

Metrios AX TEM

用于半导体计量和工艺表征的高生产率透射电子显微镜。

先进的逻辑和存储器制造工艺越来越依赖于精确的结构和分析数据的快速周转，以便能够快速校准工具套件、诊断良率偏移并优化工艺得率。在 28 nm 以下的技术节点，特别是在实施 3D 和先进设备设计的情况下，传统的 SEM 或基于光学的分析和检查工具遇到挑战，无法提供稳健和可靠的数据。Thermo Scientific Metrios AX 透射电子显微镜 (TEM) 是首款致力于为半导体生产商提供快速精准表征和参考计量，从而满足其晶片制造过程开发和控制需求以加快盈利收益的 TEM。

准确且可重复的大量 TEM 数据

Metrios AX TEM 可自动进行基础 TEM 操作和测量程序，尽可能减少了对专业操作员培训的要求。其先进的自动化计量程序提供的精度显著高于手动方法。Metrios AX TEM 设计用于提供比其他 TEM 更高的通量和更低的每份样品的成本。

主要特点

一致、可重复、精确

全新设计，提供可重复的基于 TEM 和 STEM 的成像、分析和具备计量能力的计量器。

计量准确度

TEM 和 STEM 失真和放大率校正的组合误差小于 0.75%。

自动化 EDS 和混合计量

通过自动化获取和量化 EDS 数据。使用关键尺寸元件对比度来扩展 STEM。

工作流程连通性

通过样品制备、提取和成像跟踪关键工艺数据。计量可离线应用，从而极大增加工具采集时间。所有成像和计量数据均整合在基于网络的图像查看器中。

规格

*供手动使用。规格可发生变更。