快速检测，快速响应徕卡DM3XL正置显微镜DM3XL
在微电子和半导体行业中，检验、过程控制或缺陷和故障分析的速度至关重要。
检测缺陷的速度越快，您做出响应的速度也就越快。
视场宽敞30%DM3XL检验系统凭借大视场帮助您的团队更快地识别缺陷，提高您的收益率。
充分利用独特的宏观物镜，视场宽敞30%。
更多细节尽收眼底，工作更高效
看到更多细节意味着工作更高效。
为快速扫描达到6"的大组件，DM3XL提供独特的宏观物镜。
利用0.7x放大倍率，它可以即刻采集35.7mm的视场–比其他常规扫描物镜宽敞30%。
在宏观物镜下，缺陷无所遁形：提高您的收益率
可靠检测晶片边缘或中心显影不足的区域
检测不均匀的径向膜厚度 
适用于所有相衬观察方法的LEDDM3XL
针对所有相衬观察方法使用LED照明。
LED照明可提供恒定的色温，并在所有亮度等级下提供真彩色成像。
在所有亮度等级下实现真彩色成像
自由调节无需更换灯泡–无停机时间
可复制的结果由于LED使用寿命长，耗电量低，因此还具有巨大的成本节约潜力。
光学“高手”DM3XL让您以实惠的价格享受到卓越的光学性能。
采用斜射照明检验侧面、边缘或碎屑：
以简单有效的方式从不同角度照亮样品，从而实现各种形貌的可视化。
借助深暗场对比检测样品较低层中的微小划痕或小颗粒。
您将对明显提高的灵敏度和分辨率感到震惊。
请在徕卡光学中心探索徕卡物镜产品的更多信息。
不同样品–可变载物台插件
无论您想要检验的样品是哪种类型，尺寸如何，均有种类丰富的载物台插件供您选择：
载物台尺寸：150mmx150mm
载物台插件：金属插件、晶片支座或掩模支座
快速的粗略或精准载物台定位
工作舒适直观
彩色编码光圈辅助(CCDA)
对分辨率、对比和景深的基本设置进行简化，有助于提升您的工作速度，并最大程度减少操作失误。
直观明了的功能帮助您的团队更快速地交付理想结果。
 得益于可轻松操作的控件，用户可在切换对比度或照明时，双手继续操作显微镜，双眼专注于样品之上。
右手可轻松操控光强控制器
使用可变人体工学镜筒和调焦旋钮，根据不同身高调整显微镜