氦质谱检漏仪安捷伦氦质谱检漏仪是一种由安捷伦生产的进口氦质谱检漏仪。氦质谱检漏仪(MSLD)具有选择性氦离子探测仪(SIPD)，可以是便携式、台式、移动式、模块式、手持式、吸枪式等型号，订货号有G8600A、G8600B、G8602A、G8602B、G8601A、G8601B、G8603A、型号VSPR02、VSPD03、VSBR15、VSBD30、VSMR15、VSMD30、959VSC15、PHD-4等。前级泵有DS42油封旋片泵、干式泵、组合DS302油封旋片泵、TriScroll620旋涡式干泵等。根据需要可以选择根据需要选配，抽速范围从2(34)m3/hr到30(500)m3/hr。最小可检测泄漏为5x10-12 atmcc/sec、5x10-12 mbarl/s、5x10-13 Pam3/sec、2x10-9 atmcc/sec、5x10-10 atmcc/sec、5x10-6 atmcc/sec、5x10-6 mbarl/s、5x10-7 Pam3/sec。最大测试口压力为13mbar、10Torr、1330Pa、1Torr、5Torr、7mbar、667Pa。校准方式为自动或手动（内部或外部）手动自动或手动（内部或外部）。氦本底清零为一键式自动清零（自动本底追踪）、手动一键式自动清零（自动本底追踪）、自动或手动。通讯接口有RS232和analog（标配）、I/O接口（选配）、Analog、RS232、analog、I/O接口和Profinet、Analog和RS-232串口（标配）。设定点有5个设定点（N/O或N/C）（3个漏率、1个压力、1个音频）。与VS系列相同的远程显示/控制可选件。符合CE、UL/CSA标准。UL/CSA、CE认证。CE、CSA/US认证。