产地:日本; 品牌:奥林巴斯
人机工程学设计,操作方便
可以自由设置的检查模式,在设计上考虑了后道工程中的操作性,尤为重视设备的操作简便性。
分别对应FOUP(Load Port)和FOSB的两种机型。
延续了上一代机型的坚固性、可靠性和安全性,能够安全可靠的传送300 mm晶圆。
薄片,Warped晶圆皆能安全搬送。
宏观观察位置的zei优化和操作单元的集中排列,提高了设备的操作舒适性。
AL120半导体晶圆搬送及检测显微镜
奥林巴斯CIX100技术清洁度检测系统
2020-09-25 15:01