CAMTEK自动光学检验AOI设备MEMSCamtek检验和计量解决方案的微电子机械系统(MEMS)结合多种技术解决MEMS的2D和3D挑战的行业。
我们独特的灵活平台支持MEMS产业广泛的应用程序。各种处理配置和特殊的发展可以支持各种晶片大小和类型。
功能
• 整片2D检查和计量
• 表面相关缺陷检查
• 各种处理解决方案(薄和泰科晶圆和更多)
• 高分辨率的2D和3D测量
• 多个照明配置各种功能的检查
• 灵活的检测环境定制的应用程序技术
• 先进的缺陷检测和计量处理引擎
• 高分辨率三维共焦传感器
• 剪辑产品年代zui先进的2D表面缺陷检验和计量系统，实现高容量生产前2D检查解决方案和post-bumped晶片，探针标记检查，OQC等等。
EagleT-i设计的速度和准确性，CamtekEagleT-i是一个zui快的和zui精确的2D检查工具在市场上。
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