半导体检测仪 PlasmaPro100 Estrelas牛津仪器牛津仪器科技（上海）有限公司

产品描述

PlasmaPro100Estrelas是为满足微电子机械系统（MEMS）、先进封装和纳米技术市场的各种工艺需求而设计的平台。它提供了灵活的工艺选择，包括光滑侧壁工艺、高刻蚀速率腔刻蚀、高深宽比工艺和锥形通孔刻蚀。该平台的设计使得无需更换腔室硬件就能实现不同工艺，例如Bosch™和超低温刻蚀。同时，它还具备自动匹配能力，高流量的质量流量计和等离子发生器，以及自由基密度更高、腔体尺寸更小和泵效率更高。最重要的是，PlasmaPro100Estrelas可以实现从研发到量产的能力，并且兼容不同尺寸的衬底。

价格：面议

半导体检测仪 PlasmaPro100 Estrelas牛津仪器

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