INCAWAVE波谱仪采用了SEM中少见的全聚焦几何设计，与EPMA相同。这意味着提高了2倍的分辨率，测量更加稳定且可重复。WAVE是一种以其工程精度和质量而闻名的全聚焦光谱仪。WAVE光谱仪的内部组件（晶体、探测器和测角仪）以高精度完全协调运行，以保持正确的衍射条件，且测量是可重复的。WAVE光谱仪的安装有水平倾斜的Rowland圆，因此样品的垂直定位精度并不重要。这使得所有用户都可以轻松采集重复性的结果。它不需要光学显微镜来设定（平行束波谱仪需要）。光谱分辨率低至2eV，可轻松区分密集的x射线出色的检出限，许多元素的检测下限小于100ppm。标准能量范围高达10.8kev（可选15keV）。采用XPP基体校正算法进行准确的定量分析。已经超过25年的发展完善，可靠牢固的机械设计。可以成功安装在常规、低真空、环扫、场发射等多种SEM上。已通过验证，适用于多种类型的样品，包括使用低束流（小于5nA）条件下轻元素和高空间分辨率检测。