高分辨场热发射扫描电子显微镜Sigma300产品规格
场发射扫描电子显微镜主要用于观察、分析和记录材料的微观形貌，
同时可使用EDS能谱仪进行材料元素的成分分析。
产品性能与优点：
- 电子光学系统分辨率：≤1.0nm@15KV（使用非样品台减速模式下采用d25-75的边缘尺度测试法）
- 放大倍率：10-1,000,000倍，根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准，低倍率与高倍率无需任何模式更换
- 电子枪：肖特基热场发射电子枪
- 加速电压或着陆电压范围：0.02kV～30kV，步进10V，连续可调；最低加速电压20V（非样品台减速模式）
- 电子光路具备色差校正设计，在低电压下具有高分辨观察性能，能够直接观察不导电样品
- 镜筒内具有8KV加减速电压设计，能够保证样品室内无漏磁，可对铁磁性和易磁性材料进行2mm内短距离高分辨成像
- 束流稳定性: 优于0.2%/h，抗噪声性能优于1%/h
- 图像存储分辨率：32K*24K
- 样品室抽屉式拉门，宽度或者内部直径不小于350mm，可容纳最大样品尺寸不小于200mm
- 配置五轴优中心马达驱动样品台，X≥125mm，Y≥125mm，Z≥50mm，双向倾斜，倾斜范围≥70°，旋转≥360°（连续旋转）
- 真空系统包括无油磁悬浮涡轮分子泵，250升每秒；离子泵，维持发射区域超高真空；前级无油机械泵，10立方米每小时，样品室真空度：高真空模式优于2×10-4Pa，电子枪真空度：10-7Pa数量级
- 数字图像记录系统，图像显示配置主流品牌液晶显示器不小于24寸，支持TIFF、BMP或JPEG格式，并基于网络架构的数据传输系统，操作系统为Windows10
- 可自动调节：电子枪对中、真空控制、亮度与对比度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿。