主要特点：
新一代的高温纳米压痕测试仪具有以下特点：
在环境条件下，热漂移最低(<0.5nm/min)，整个温度范围内也最低(<3nm/min)。
框架最高载荷刚度(>>106N/m)，最低框架柔度(<<0.1nm/mN)。
设有两套独立的位移和载荷传感器，结合高精度电容传感器，可选择“控制位移”或“载荷控制”模式。
高真空系统具有5轴磁悬浮涡轮泵和缓冲系统，允许在测量期间关闭初级泵，从而最大程度降低振动。
还采用了独特的加热控制系统（3项专利待批），其中包括3个红外(IR)加热器分别用于给压痕针尖、参比针尖和样品进行加热，以及4个热电偶用于控制样品表面温度变化在0.1°C内。
该测试仪符合ISO14577和ASTME2546国际标准，技术指标包括最大载荷100mN，载荷分辨率6nN，本底噪音0.5[rms][μN]*，最大位移100μm，位移分辨率0.006nm，本底噪音0.15[rms][nm]*，以及极限真空度10? mBar和最高温度800°C。