主要特点：新一代高温纳米压痕测试仪具有以下特点：

1.在环境条件下，具有最低热漂移(<0.5nm/min)，在整个温度范围内也具有最低热漂移(<3nm/min)。

2.框架的最高载荷刚度(>>106N/m)，并且具有最低框架柔度(<<0.1nm/mN)。

3.采用两套独立的位移和载荷传感器结合高精度电容传感器，可选择“控制位移”和“载荷控制”模式。

4.配备了高真空系统，包括5轴磁悬浮涡轮泵和缓冲系统，允许在测量期间关闭初级泵，以降低振动。

5.独特的加热控制系统采用3个红外(IR)加热器分别对压痕针尖、参比针尖和样品进行加热，以及4个热电偶用于将样品表面温度控制在0.1°C内（共3项专利待批）。

6.符合ISO14577和ASTME2546国际标准。

技术指标：

- 最大载荷100mN

- 载荷分辨率6nN

- 本底噪音0.5[rms][μN]

- 最大位移100μm

- 位移分辨率0.006nm

- 本底噪音0.15[rms][nm]

- 极限真空度10? mBar

- 最高温度800°C