根据仪器化压入测试(IIT)标准，微米压痕仪非常适合测量材料的硬度和弹性模量等机械性能。它可适用于各种样品，包括块状和薄膜材料，覆盖了从软材料到硬材料（金属、陶瓷、聚合物）的范围。同时可以进行大位移测量（最大1mm），并且根据需求添加划痕测试模式。

主要特点包括：
- 用于测量硬度和弹性模量的位移-仪器化压痕
- 可进行从纳米到宏观尺度的压痕测量
- 所能覆盖的压痕范围包括小位移（几纳米）到大位移（最大1mm）和大载荷范围（从10mN到30N）
- 高精度的位移和载荷可进行精确的微米压痕测量
- 包括两个独立的传感器：一个用于载荷，一个用于位移，来进行准确的计量测量
- 高框架刚度：2x108 N/m，更高的位移准确度
- 连续多周期(CMC)的位移曲线，可以观察到硬度和弹性模量与压入位移的关系
- 提供压入载荷和位移控制模式
- 可视点阵模式，通过显微镜观察对样品进行多点定位测试
- 可使用用户自定义程序根据需要设置测试参数

技术规格包括：
- 最大载荷30N，分辨率6μN，本底噪音<100[rms][μN]*
- 最大位移1000μm，分辨率0.03nm，本底噪音<1.5[rms][nm]*
- 载荷框架刚度>107 N/m
- 符合国际标准ISO14577, ASTME2546, ISO6507, ASTME384。