根据仪器化压入测试(IIT)的要求，微米压痕仪适用于测量硬度和弹性模量等机械性能。它可以用于块状样品和薄膜，适用于从软材料到硬材料（金属、陶瓷、聚合物）的测量，能够进行大位移测量（最大1mm），并可以根据需求添加划痕测试模式。

主要特点包括：
- 用于测量硬度和弹性模量位移
- 测量范围从纳米到宏观尺度
- 能够进行小位移（几纳米）到大位移（最大1mm）的压痕
- 范围大（从10mN到30N）以满足样品特性的要求
- 对测量粗糙表面尤为有用
- 可进行精确的微米压痕测量
- 两个独立的传感器进行准确的计量测量：一个用于载荷，一个用于位移
- 高框架刚度：2x108 N/m，提高位移准确度
- 连续多周期(CMC)的位移曲线：硬度和弹性模量与压入位移的关系
- 可进行压入载荷和位移控制模式
- 通过显微镜观察对样品进行多点定位测试
- 可使用用户自定义程序根据需要设置测试参数

测试参数包括：
- 最大载荷30N，分辨率6μN，本底噪音<100[rms][μN]*
- 最大位移1000μm，分辨率0.03nm，本底噪音<1.5[rms][nm]*
- 载荷框架刚度>107 N/m
- 符合国际标准ISO14577,ASTME2546,ISO6507,ASTME384

希望能为您提供帮助。