LeicaEMTIC3X采用离子枪激发离子束，沿着样品的垂直侧向纵向轰击，实现了无应力的高质量“切割”截面，便于SEM观察。
这种处理方法适用于高难度样品，如多层膜材料、软硬复合材料，操作简单且可有效避免涂抹效应，无需大量试验即可得到理想的截面，暴露样品内部微观结构信息。
特点：
• 可容纳样品尺寸50×50×10mm，可获得有效切割截面面积＞4mm×1mm
• 三把离子枪，离子束能量1keV-10keV，切割速率150μm/h(Si@10kV,50μm切割高度)
• 离子束处理过程中样品位置固定，无需偏转运动，无投影效应，热传导性好
• 可进行离子束切割或刻蚀，可选择任意离子枪
• 真空泵解耦合设计，无震动传导
• 触摸屏操作面板，直观、简易操作，可编程可软件升级
• 可选配：液氮制冷冷台-150°至30°，25L液氮罐及自动泵，具有自动快速制冷功能
• 可选配：三样品台，可一次连续处理三个样品
• 可选配：旋转样品台，用于对样品进行离子束抛光