卓立汉光的3D形貌测试仪采用非接触式线光谱共焦快速扫描技术，能够高精度还原产品的3D结构，对肉眼不可见的结构缺陷都能准确检测。这款仪器具有较快的扫描速度、微米级别的精度和超强的稳定性，因而受到了精密生产商的青睐。其主要应用领域包括精密铸件、精密点胶、3D玻璃，半导体缺陷检测和多层光学薄膜厚度检测。

产品概述：随着电子产品的小型化，器件的空间变得更加紧凑，对器件尺寸及工艺容差的要求也越来越高。因此，对于管控产品质量的测量手段提出了新的挑战。卓立汉光的3D形貌测试仪应运而生，为实现高速、高精度的测量提供了有效手段。该仪器能够有效管控产品的尺寸及加工工艺，检测微米级别的结构缺陷，满足了精密生产的需求。该产品是卓立汉光长期专注光谱技术研发的成果，拥有专利号：CN207556477U。

该项技术，具有以下优点：

优点/ 技术/ 项目

线性共焦光谱技术

点测技术

激光扫描

3D相机

速度

1000line/s

1000point/s

1000line/s

多角度拍照快

扫描宽度

6.5mm/20mm

点

可选

大

分辨率

1um

1um

30um

100um

界面层数

多层

多层

表面

表面

建模

否

否

否

是

数据量

大

大

少

少

3D形貌测试仪主要特点有：1、非接触性测量；2、线扫描，高效率；3、微米级精度；4、满足透明面及高对比度表面测试；5、支持二次开发； 主要应用1、精密部件3D尺寸及段差测试；2、精密点胶胶线截面、胶线宽度、胶线高度测试；3、3D玻璃缺陷检测；4、半导体表面缺陷测试；5、多层薄膜厚度测试； 磁盘探头形貌扫描测试手机边框段差测试3D形貌测试仪产品型号及规格

HawkEye-1300

HawkEye-5000

方式

共焦光谱

共焦光谱

精度

1um

8um

重复性

±0.3um

±4um

线扫宽度

6.5mm

20mm

Z轴量程范围

1.3mm

5mm

扫描速度

300line/s(Max:1000line/s)

300line/s(max:1000line/s)

重量

5Kg

8Kg

尺寸

460X300X140mm