卓立汉光研发了一款全新的3D形貌测试仪，采用非接触线光谱共焦快速扫描技术，能够高精度复原产品的3D结构，准确检测肉眼无法观察到的结构缺陷。由于扫描速度快，精度达微米级并且稳定性强，使其一经推出便受到精密生产商的青睐。该产品主要应用于精密铸件、精密点胶、3D玻璃、半导体缺陷检测和多层光学薄膜厚度检测等领域。
半导体技术的发展促使电子产品朝着小型化、轻薄化发展，穿戴式电子产品应运而生。随着电子产品体积的不断缩小，对器件加工尺寸及工艺的容差要求也越来越高。卓立汉光的3D形貌测试仪采用非接触线光谱共焦快速扫描技术，能够高精度复原产品的3D结构，准确检测肉眼无法观察到的结构缺陷。具有较快的扫描速度和微米级别的精度，立即赢得了精密生产商的青睐。该产品主要应用于精密铸件、精密点胶、3D玻璃、半导体缺陷检测和多层光学薄膜厚度检测等领域。卓立汉光长期专注于光谱技术的应用研发，3D形貌测试仪是其多年实践经验的结晶（专利号：CN207556477U）。该项技术具有以下优点：

优点/ 技术/项目

线性共焦光谱技术

点测技术

激光扫描

3D相机


速度

1000line/s

1000point/s

1000line/s

多角度拍照快


扫描宽度

6.5mm/20mm

点

可选

大


分辨率

1um

1um

30um

100um


界面层数

多层

多层

表面

表面


建模

否

否

否

是


数据量

大

大

少

少


3D形貌测试仪主要特点有：
1、非接触性测量；
2、线扫描，高效率；
3、微米级精度；
4、满足透明面及高对比度表面测试；
5、支持二次开发；
主要应用
1、精密部件3D尺寸及段差测试；
2、精密点胶胶线截面、胶线宽度、胶线高度测试；
3、3D玻璃缺陷检测；
4、半导体表面缺陷测试；
5、多层薄膜厚度测试；
磁盘探头形貌扫描测试手机边框段差测试3D形貌测试仪产品型号及规格


HawkEye-1300

HawkEye-5000


方式

共焦光谱

共焦光谱


精度

1um

8um


重复性

±0.3um

±4um


线扫宽度

6.5mm

20mm


Z轴量程范围

1.3mm

5mm


扫描速度

300line/s(Max:1000line/s)

300line/s(max:1000line/s)


重量

5Kg

8Kg


尺寸

460X300X140mm

460X300X140mm