产品概述：本产品特点在于平移滑台采用粗调+微调结构，灵敏度优于0.5μm，旋转滑台的灵敏度优于23.4″。具有高稳定性和较高的性价比。此外，还有相应的命名规则和选型表。

型号
-UFP1A
-UFP1B
-UFP1C-L
-UFP1C-R
-UFP2T-L
-UFP2T-R

台面尺寸(mm)
-60×60
-45×45

台面厚度(mm)
-20
-25
-30
-

移动量
-粗调：±6.5mm；精调：±0.3mm
-θx：±3°；θy：±3°

导向机构
-线性滑块导轨
-交叉滚柱导轨
-交叉滚柱轴环

驱动
-分厘卡

主体材料及表面处理
-铝合金，黑色阳极氧化处理

自重(Kg)
-0.28
-0.32
-0.4
-0.64

灵敏度
-粗调：≤10µm；精调≤0.5µm
-θx：≤25.2″；θy：≤23.4″

静态平行度
-≤60µm
-

运动平行度
-≤10µm
-

运动直线度
-≤3µm
-

水平负载(Kg)
-5
-5
-5
-1.5
-