SC1匀胶旋涂仪CIF
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SC1匀胶旋涂仪CIF

产品属性

  • 品牌CIF
  • 产地北京
  • 型号SC1
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产品描述
匀胶旋涂仪CIF匀胶机拥有稳定的转速、迅速的启动,能够均匀地旋涂胶液,操作简便,结构紧凑实用,为实验室提供了理想的解决方案。
匀胶旋涂仪被广泛应用于微电子、半导体、新能源、化工材料、生物材料、光学,硅片、载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺制版表面涂覆等领域。
产品特点:
- 采用闭环控制伺服电机,数字式增速信号反馈,速度匀准确,寿命长,保证匀胶的均一性。
- 5寸全彩触摸屏,智能程序化可编程操控显示,标配10个匀胶梯度阶段(速度和时间梯度设置),可选配10个可编程程序,每个程序下可设置10个匀胶梯度阶段,总共100个阶段。
- 内置水平校准装置,保证旋涂均匀,可对大小不同规格的基片进行旋涂。
- 多重安全保护:电磁安全开关,盖子打开卡盘停止,保证安全;盖子自锁功能,防止飞片盖弹开伤人;双重安全上盖,聚四氟嵌镶钢化玻璃,避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人,保证实验人员安全。
- 样品托盘卡口和样品托盘之间三重密封安全保护,有效降低电机进胶的风险。
- 一机两用,根据不同样品可选择真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂方式。
- 设计符合人体功能学的水平取放样品旋涂托盘,取放样品便捷。
- 不锈钢喷塑涂层旋涂壳体,旋涂腔体采用PTFE材料。旋涂托盘采用聚丙烯(NPP-H)材料,耐酸碱防腐蚀,保证仪器在苛刻条件下能正常运行。
- 上下双腔体设计,较大的上腔体便于擦拭去除胶液,锥形下腔体结构设计便于收集胶液,并带有废胶收集装置。
- 可选氮气吹干、氮气保护,自动滴胶或简易滴胶装置,提供更多操作便利性。
- 适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs,GaN,InP等多种材料。
技术参数:
型号:SC150-10000
转速(转/分):10000±1%
转速稳定度:
匀胶时间:0-2000秒
旋涂基片尺寸mm:圆片Φ5-Φ100,方片z大100x100
外形尺寸(LxWxH)mm:310x260x250

华仪行(北京)科技有限公司

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