紫外臭氧清洗机（UVOzoneCleaner,UVO）是一种材料表面清洗设备，通过使用长寿命UV石英低压汞蒸汽格栅灯，样品台高度可调并可选配加热控温功能，以达到最佳清洗效果。此款产品有按键式以及触屏式两种类型，具有自动补偿功能，数字倒计时显示清洗时间，可随时手动中断处理过程，自动记录之前清洗参数设置，样品台可控温，上置式样品台设计，双重安全保护，带进&出气口双气路设计，可定制铝或石英材料真空反应腔等特点。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色触摸屏设置显示计时时间及加热温度，UV石英低压汞蒸汽格栅灯寿命大约为8000小时，波长185nm和254nm，UV反射罩尺寸大于15×15cm。此产品有一些型号和技术参数，请参考下表：

产品型号 UV灯尺寸cm 样品台高度cm 主机重量kg 外型尺寸（LxWxH）cm
UVO9/UVO9P/UVO9T 23x23 5 内可调 12.5 60x50x20

注：UVO基础型样品台不带加热功能，样品台高度可调；UVOP可选配样品台加热功能，样品台高度可调；UVOT标配样品台加热功能，样品台高度可调。