仪器简介 

英国Hiden公司的RGA Series残余气体分析四极质谱仪(Residual Gas Analysers)，用于真空诊断和工艺工程的精确分析。  

RGA Series残余气体分析四极质谱仪包括HAL RGA ，3F Series RGA和3F-PIC三种规格水平。

主要特点：

·PPM灵敏度

·通过RS232、USB或Ethernet连接计算机，MASsoft专业软件控制 

·快速显示柱状图、趋势分析和信号峰 

·混合模式扫描－多个windows窗口显示信息，例如趋势、柱状图和信号峰 

·同步显示数据图，列表 

·同步背景扣除，自动质量数列表 

·数据输出为ASCII格式，至windows设备 

·即时动态数据交换至其他DDE兼容的windows软件，例如 Excel、SPC-IV统计过程控制软件等

 技术规格： 

·质量数范围：200，300 amu

·扫描速度：100amu/s

·它比 1000-0100 和 10000 到************10000 重要得多。

·灵敏度：0.1 ppm~1ppm

·稳定性：24h以上，峰高变化小于±0.5%

仪器简介：
HIDEN RGA/3F/PIC 系列残余气体分析四极质谱仪(Residual Gas Analysers)，检测容器中的存在组分，或进行过程中产生气体的分析。针对真空诊断的精确分析。1-50amu高分辨四极杆质谱。

  · 残余气体或泄漏检测
  · 实际泄漏或脱附分析
  · 除气研究
  · 烘烤周期
  · 泵效能
  · 腔室/过程气体污染物


主要特点：
  · 灵敏度PPM,质量数至300amu
  · 稳定性（24小时以上，峰高变化小于±0.5%）
  · MASsoft软件控制，或由局域网进行多个系统控制

   ·阈值离子化模式分析D2/He

  · 快速显示柱状图、趋势分析和信号峰
  · 混合模式扫描－多个windows窗口显示信息，例如趋势、柱状图和信号峰
  · 同步显示数据图，列表
  · 同步背景扣除，自动质量数列表
  · 数据输出为ASCII格式，至windows设备
  · 即时动态数据交换至其他DDE兼容的windows软件，例如
  · Excel、SPC-IV统计过程控制软件等