技术参数：

■油旋片式真空泵

型式：排气速度L/min 到达压力Pa

GLD-0515：6.7×10-2

GLD-136A：1356.7×10-2

GLD-201A：2006.7×10-2

GHD-0303：6.7×10-2

G-100D：1206.7×10-2

GVD-050A：506.7×10-2

特点：高性能型，极限真空度低

适用范围：科学与化学实验、分析仪器，真空干燥系统，冷冻干燥系统，溅射系统与蒸发系统，涡轮分子泵或低温泵的前级泵

■膜片型干式真空泵

型式：排气速度L/min 到达压力Pa

DA-20D：205.3×103

DA-40S：4019.9×103

DAL-5S：24.0×103

DAL-5D：56.65×103

DAL-10S：1024.0×103

DA-60S：6021.3×103

特点：无油排气清洁，设计紧凑，噪音低，易保养

适用范围：科学分析装置，晶片处理系统，零件处理系统，自动包装机器，真空夹盘，手柄、探头

■涡旋型干式真空泵

型式：排气速度L/min 到达压力Pa

DVS-321：265≤1.5

DVS-631：525≤1

DIS-090：905

DIS-250：2501.6

DIS-500：5001

特点：无油，极限真空度低，无需油的保养，节省能源

适用范围：真空干燥，真空包装，锁定负载排气，涡轮分子泵或低温泵的前级泵