描述:Hiden的XBS系统通过实时信号输出对多个来源进行现场监测,以精确控制沉积。
XBS三级滤过四极质谱(MBE Deposition Rate Monitoring / Control System),适于精确的MBE分析,其他气体分析和科学实验使用。Windows™ 界面的MASsoft软件通过RS232、RS485 或以太网控制。
特点
·离子源控制,用于软离子化和表观电势质谱
·灵敏度增强用于大质量数的传输,自动质量数范围列表
·一级过滤处增加射频,抗污染物能力增强
·内置UHV 兼容的水冷却罩
参数
·灵敏度高,检测范围: 100% 至5ppb
·质量数范围:0~ 510amu
·长期稳定性:24h以上,峰高变化小于±0.5%)
·交叉离子源,束接收角同轴的横断面呈 ±35°
·2mm 束接受孔,也可为特殊使用者配置
·分子束研究中,检测极限低至30 ions/s
·监测生长速率:1Å / min,或更低