技术性能指标：

1        电子光学：

           1.1   发射源：钨灯丝（高性能电子光学镜筒，双阳极热发射电子枪）

           1.2   固定式物镜光阑，无需手动调整使用方便

           1.3   加速电压：200V – 30kV，自动256级偏压设计

           1.4   放大倍数：6× - 1000000×

           1.5   极靴内有一路单独抽真空系统，保证在低真空和环境模式下电子枪高真空和不受污染，延长灯丝寿命

           1.6   电子束束流：可达到的数值不小于2μA，并连续可调

           1.7   使用工厂预对中灯丝更换方便

2        真空系统

           2.1   1个250 l/s分子涡轮泵+1个机械泵

           2.2   高真空模式：＜1×10^-5 Pa

           2.3   低真空模式：10 – 130 Pa

           2.4   环境真空模式：10 – 2600 Pa     

           2.5   高真空模式下的换样时间：≤150秒

           2.6   低真空及环境真空模式下的换样时间：≤270秒

3        分辨率

           3.1   高真空模式下的分辨率

                    3.1.1   30 kV下3.0 nm (二次电子)

                    3.1.2   30 kV下4.0 nm (背散射电子)

                    3.1.3   3 kV下8.0 nm (二次电子)

        3.2   环境真空模式下的分辨率（以英文官方样本公布的参数为准，并作为验收指标）

                    3.2.1    30 kV下3.0 nm (二次电子)

                    3.2.2    具备独立的环境真空/超低真空模式二次电子探头

4        样品室

           4.1   样品室内径：不小于340 mm

           4.2   分析工作距离：10 mm

           4.3   样品室红外CCD相机：1个

           4.4   最多可升级8个探测器或附件接口         

5        样品台

           5.1   类型：五轴马达台，全对中，同时保留五轴手动功能

           5.2   行程：X≥110 mm，Y≥110 mm，（X/Y重复精度2μm）Z≥65 mm，旋转R=n×360^o，倾斜T=-15^o/+90^o

           5.3   样品尺寸：可沿 X、 Y 轴完全旋转时直径≥122 mm，最大样品高度≥85mm