NS3500三维激光共聚焦显微镜NS-3500是一种精确、可靠的三维(3D)测量高速共焦激光扫描显微镜(CLSM)。
通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。
在测量和检测微观三维结构，如半导体晶片，FPD产品，MEMS设备，玻璃基板，材料表面等方面拥有无可比拟的解决方案。


特点及优势：高分辨率非破坏性光学三维测量实时共焦成像多种光学变焦同时进行亮场和共焦成像自动获取最佳聚焦位置倾斜补偿简易分析模块精确可靠的高速高度测量通过半透明基板检测特征无样品准备大范围图像拼接检测


软件：图像拼接：对于大范围的检测，可使用自动XY平台和NS-3500图像拼接软件NSMosaic对预测的区域进行连续测量和图像拼接。拼接后的图像可以作为一个单一的测量结果进行分析。


应用领域：NS-3500是测量高度、宽度、角度、面积和体积的一种有效的解决方案，例如：-半导体:IC图形，凹凸高度，线圈高度，缺陷检测，CMP工艺-FPD产品:触摸屏屏幕检测，ITO图案，LCD柱间距高度-MEMS器件:结构三维轮廓，表面粗糙度，MEMS图形-玻璃表面:薄膜太阳能电池，太阳能电池纹理，激光图案-材料研究:模具表面检测，粗糙度，裂纹分析


规格：
型号：显微镜NS-3500备注
控制器NS-3500E
物镜倍率10x20x50x100x150x观察/测量范围水平(H):μm140070028014093
垂直(V):μm105052521010570
工作范围:mm16.53.10.540.30.2
数值孔径(N.A.)0.300.460.800.950.95
光学变焦x1tox6总放大倍率178xto26700x
观察/测量光学系统针孔共聚焦光学系统
高度测量测量扫描范围精细扫描:400μm(and/or) 长扫描:10mm[NS-3500-S]
注1长扫描:10mm[NS-3500-T]
显示分辨率0.001μm重复率σ0.010μm注2
宽度测量显示分辨率0.001μm重复率σ0.02μm注3
帧记忆像素1024x1024,1024x768,1024x384, 1024x192,1024x96
单色图像12bit彩色图像8-bitforRGBeach
高度测量16bit
帧速率表面扫描20Hzto160Hz
线扫描~8kHz
自动功能自动对焦激光共焦测量
光源波长紫光激光,405nm输出~2mW
激光等级Class3b
激光接收元件PMT(光电倍增管)
光学观察光源灯10WLED
光学观察照相机成像元件1/2” 彩色图像CCD传感器
记录分辨率640x480
自动调整增益, 快门速度,Whitebalance
数据处理单元专用PC
电源电源电压100to240VAC,50/60Hz
电流消耗500VAmax.
重量显微镜Approx.~50kg(Measuringheadunit:~12kg)
控制器~8kg
隔振系统有源隔离器Option
精细和长距离扫描仪的双重扫描模式仅适用于NS-3500-S(单镜头类型)。
注1:精细扫描由压电执行器(PZT)执行。注2:以100×/0.95物镜对标准样品(步长1μm)进行100次测量

注1：使用100×/0.95物镜对标准样品（间距为5μm）进行了100次测量。