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HORIBA GD Profiler 2射频辉光放电光谱仪(GD) GDS
产品属性
品牌
堀场
产地
法国
型号
HORIBA GD Profiler 2
关注度
0
信息完整度
关闭
产地:法国; 品牌:堀场
产品描述
使用Profiler2辉光放电光谱仪可以解密镀层工艺,分析镀层结构,获得镀层结构、层间扩散、元素富集、表面处理、镀层均一性等信息,从而改善工艺条件。适用行业包括金属冶金、半导体器件、LED芯片、薄膜太阳能电池、锂电池阴阳极、光学玻璃、核材料等。
GD-Profiler2是超快镀层分析的理想工具,适用于导体和非导体复合镀层的分析。操作简单、便于维护,是镀层材料研发和质控的理想工具。
该仪器采用脉冲式射频辉光源,可以有效分析热导性能差和热敏感样品。具有多项专利技术,如高动态检测器(HDD),可测试浓度范围为ppm-100%,专利Polyscan多道扫描的光谱分辨率为18pm~25pm。
分析速度快(2-10nm/s)。
仪器原理是:辉光放电腔室内充满低压氩气,施加在放电两极的电压产生辉光放电,放电气体离解为正电荷离子和自由电子。正电荷离子加速轰击到(邻极)样品表面产生阴极溅射,在放电区域内,溅射的元素原子与电子相互碰撞激化发光。
上海巨纳科技有限公司
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