MAIA3是一种全新的扫描电子显微镜，具有出色的分辨率。在15kV下可以达到1nm的超高分辨率，1kV下则为1.4nm。该电子显微镜采用了二次电子信号，并配备了肖特基场发射电子枪和TESCAN先进的三透镜电子光学系统。相较于传统物镜，MAIA3采用了TESCAN独特设计的60度磁浸没物镜，能够显著减小光学像差，即使在低电压下仍然保持超高分辨率。此外，新增的中磁透镜可以与物镜一起使用或替代物镜观察，提供多种显示模式。MAIA3具有许多特点，如单极60度角物镜具有非凡分辨率、无场模式适用于磁性样品观察、高亮度肖特基电子枪可获得高分辨率、高束流和低噪声图像、In-Beam二次电子探测器可用于小工作距离条件下的二次电子检测等。还有实时电子束追踪技术、电子束减速模式、In-Beam背散射电子探测器等功能，为用户提供了多种方便的操作和分析选项。MAIA3拥有完善的软件用于SEM控制、图像采集、存档、处理和分析，同时具备多用户多语言操作界面，网络操作和内置的远程控制/诊断功能。最重要的是，MAIA3采用了独特的3维电子束技术，可以实时获取立体图像，为研究人员提供了更广阔的视野。