SKY® 电容膜片真空计
INFICON SKY CDG025D电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空计,
在苛刻的生产环境中具有稳定的性能. 先进的数字电子学提高真空
计的性能和易于使用的特点,如一键调零功能和设点调整. 抗腐蚀
性的超纯陶瓷传感器具有卓越的零点稳定性与预期数百万次压强
周期包括大气冲击的长使用寿命. 独特的传感器屏蔽(专利技术)保
护真空计防止过程污染. 坚固耐用的机械结构和数字电子学加强了
EMC兼容性, 长期稳定性和温度补偿性. CDG025D真空计为从电源接
通后的快速稳定与暴露大气压后快速恢复等特性设定了新的标准.

优点
全刻度范围从100毫乇... 1’000乇
电源接通后的快速稳定性
暴露大气压后的快速恢复性
抗腐蚀性陶瓷传感器
卓越的长期讯号稳定性
温度补偿
保护传感器防止污染
一键调零功能
宽范围电源
2个设点(选项)
RS232接口(选项)

用途
要求高的应用条件下,精确而快速的压强测量:
用于刻蚀, CVD, PVD, ALD半导体制造设备
数据贮存和显示器制造设备
工业真空设备
常用高精度真空测量