简介

先进,实用的单层和多层镀膜速率控制

用于单层和多层镀膜工艺的薄膜镀层控制仪XTC/3
装备有ModeLock¹专利技术,提供验证的模式跳跃防止功能,可达到始终如一的镀膜质量. 使用XTC/3薄膜镀层控制仪,可高度精确地控制镀膜速率与膜层厚度, 具有能控制几乎任何膜层数量的能力,容易安装,和极高的可靠性,可确保高的生产率.

 
■  有单膜层和多膜层型号
■  ModeLock专利技术防止由于模式跳跃导致的膜厚误差
■  支持INFICON Crystal 12^™, CrystalSix^®和双传感器自动晶体切换,用于最高生产率
■  XTC/3M多膜层型号支持多至99个工艺过程, 999个膜层, 32个镀层, 2个传感器和两个源
■  XTC/3S单膜层型号支持多至9个镀层, 2个传感器和两个源
■  易阅读的TFT LCD图形显示器
■  为便于检索,可指定独特的和描述性的薄膜与过程名称
■  有以太网连接件
■  单独运行(无需计算机)或用PC运行的Windows^®软件选件  
■  INFICON XTC/2控制仪的即插即用更换件(限于XTC/2功能和指令组)

应用：

集成电路执照
光学镀膜
溅射镀膜
薄膜太阳能电池制造
OLED制造