皮拉尼标准真空计
INFICON 皮拉尼标准真空计, PSG500, PSG502-S, PSG510-S 和PSG512-S,
采用市场可提供的最先进数字皮拉尼技术. 坚固耐用的不锈钢传感室和小型的
设计结构使它们成功地应用于半导体系统以及标准场合, 如前级真空管道中.

优点
■ 简易的按钮 ATM 和 HV 调整
■ 节省空间的耐用结构
■ 铝外壳
■ 任何方位安装
■ 带金属密封馈入件的不锈钢测量室
■ 易于集成的对数讯号输出
■ 10 巴绝对充压, 有螺纹连接件
■ 250 °C 可烘烤型
■ 镍灯丝选件, 用于腐蚀性的应用
■ 陶瓷馈入件, 用于高度腐蚀性的应用 (PSG510 和PSG512)
■ 可选设点
■ 符合RoHS (危害性物质限制指令)

用途
■ 控制高真空电离真空计
■ 监测前级真空压强
■ 真空系统中的安全电路
■ 常规真空测量和在粗/细真空范围内的控制