主动隔振系统：电子显微镜隔振&Herz

主动隔振系统是通过持续感应输入振动并动态消除来运作。在每个系统中，至少有六个振动传感器，压电加速度计，用于感应检测仪器的振动。它们的信号被送入中央处理器，该中央处理器将信号整合起来，并向执行器发送一个消除信号。旧的执行器是音圈执行器（扬声器）；新的执行器是压电传感器，其产生的振动与输入振动相等且异相，消除了输入的振动。有一组弹簧支撑系统，提供被动隔振。该系统具有反馈回路，可以抑制系统的结构共振。该反馈回路消除了每个被动隔振系统中出现的低频共振和附带共振。