SMS专家级测量系统（共聚焦原理）

用于非接触表面测量分析的三维光电测量系统。按客户要求可选配其它多种光学位移测量传感器，如：自聚焦传感器、白光干涉系统、共焦传感器、触针式传感器、三角测量传感器、色敏传感器。工作站基本配置为精密的大理石桥式测量台和X、Y移动工作台。测量数据的采集是通过BMT专利三维软件包完成的。数据采集速度快、表面轮廓复现度高。光斑轨迹小以及倾斜度大的轮廓，可以对宏观和微观结果进行量化。所有的测量轴都具有纳米分辨率，模块化设计使系统可用于不同的测量任务。软件系统界面直观，操作方便，可以选配电机驱动Z轴来扩大测量范围。

主要用途

◆  任何粗糙、光滑表面检查和测量（可选用不同的传感器）

◆  用于金属片、纸、玻璃塑胶、晶片、刀具等行业

◆  其他表面的微观形貌测量

◆  微型机械元件的尺寸测量

◆  金相测量

◆  微小或较大区域内直线度、平面度、台阶高度、粗糙度的测量计算  

主要特点

◆  非接触测量表面轮廓、反射率、垂直和横向尺寸

◆  测量范围：X、Y方向可达300mm、Z轴可达50mm

◆  横向分辨率优于1μm，Z轴分辨率最高接近1mm（取决于传感器）

◆  可用显微镜和照相机观察表面（选配）

◆  二维/三维粗糙度测量分析、快速傅立叶变换、自相关函数并可测平面度、台阶高度、斜坡

◆  采用宏汇编语言实现自动化测量

主要优势

◆ 快速分析表面结构且结构紧凑

◆ 自动数据采集和评估

◆ 用户搭配的测量系统

◆ 测量范围大

◆ 合理的价格 

技术参数

共聚焦显微镜头

◆ 光源：LED

◆ 寿命（h）：＞50，000

◆ 采用步进电机时的测量范围（mm）：50

◆ 采用压电执行器时的测量范围（μm）：100 / 150

◆ 最高垂直分辨率（nm）：30

◆ 最高横向分辨率（μm）：3

◆ 工作距离（mm）：50

◆ 选件：根据不同的原理配置不同的传感器：三坐标测量，共聚焦，自动聚焦，彩色聚焦；能减振的工作台；用户定制的工件夹具；空气轴承工作台。