概述：

　透射电子显微镜是唯一的提供在较高时间分辨率下得到原子级空间分辨率的实验手段。透射电子显微镜原位电学性能测试系统是在标准外形的透射电镜样品杆内加装扫描探针控制单元，通过探针对单个纳米结构进行操控和电学测量。并可在电学测量的同时，动态、高分辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征，极大地扩展了透射电子显微镜的功能与应用领域。

　　本系统包括包括两部分，分别是扫描探针控制器（内含电压源、电流放大器）与原位测量样品杆部分。

功能：

应用案例

规格参数：

透射电子显微镜指标

• JEOL 电镜兼容或者FEI电镜兼容

• 保证透射电镜原有的分辨率（非球差校正）；


扫描探针操纵指标

• 粗调范围：XY方向2.5mm，Z方向1.5mm。

• 细调范围：XY方向18um，Z方向1.5um。

• 细调分辨率：XY方向0.3nm，Z方向0.03nm。

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电学测量指标

• 包含一个电流电压测试单元。

• 电流测量范围：0-20mA，5个量程。电流分辨率：优于30fA。

• 电压输出范围：普通模式±10V，高压模式±150V。

• 自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存。