主要用于以下领域：

 ◇ 小批量生产                 ◇ 分析 (REM, TEM)

 ◇ 医疗技术                   ◇ 灭菌

 ◇ 研究和开发部门             ◇ 考古

 ◇ 纺织技术                   ◇ 塑料技术

应用范围：
1、用于清洗：几乎所有的材料都能使用等离子进行精密清洗。
2、用于表面激活：几乎所有的材料都能通过等离子被激活。
3、用于蚀刻：塑料、半导体、玻璃。
4、用于涂层：所有的工业材料、金属、玻璃、陶瓷。

概况介绍 Zepto

基本设备

• 根据具体组件/选装件，外壳规格会有所不同

• 腔室容积：根据具体版本，分为 1.7 - 2.6 升

• 供电电源： 230 V

气源

• 针型阀

• 质量流量控制器 (MFCs)

真空腔室

• 圆形石英玻璃 (UHP)，配有盖子
  （大约 ? 105 mm, 长 200 mm 或者长 300 mm）

• 圆形硼硅玻璃 (UHP)，配有盖子
  （大约 ? 105 mm, 长 200 mm 或者长 300 mm）

装载件

• 产品支架： 铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

电极

• 单层或多层

控制系统

• 手动型

• PCCE 控制系统 (Microsoft Windows CE)

• PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)

压力测量

• Pirani

计时器

• 数字型

发生器

真空泵

• 规格和制造商均各有不同（按照?