Semiconsoft MProbe 膜厚测试仪

MProbe 让 你 成 为 测 量 专 家 ！

大部分半透明的或具有轻微吸收性的薄膜能够被快速、可靠的测量：氧化物、氮化物、感光耐蚀膜、聚合物、半导体(Si, aSi,polySi)、硬涂层(SiC, DLC), 聚合物涂料 (聚对二甲苯,PMMA,聚酰胺), 薄金属薄膜等。

厚度和其他参数的均匀性测量对于许多应用程序是很重要的。

映射选项包括:
1.XY电动平台(150，200和300毫米游程)
2.固体19 x19"铝合金平台
3.探头架(反射/透射测量均可)与光学系统
4.调节器
5.支持软件(映射配方,等等)。