产品描述
无电极Z-Pinch技术
各种文献表面Z-Pinch等离子体能有效地产生极紫外光和软X射线，但是到现在为止都是使用电极将高放电电流导入等离子体中。电极一般都要与高温等离子体接触，可能熔化并产生很多残留碎屑。
Energetiq独特的技术也是基于Z-Pinch等离子体，但是却完全不使用电极而是通过电感将电流耦合进入等离子体中。Energetiq光源中的等离子体通过磁性远离光源内壁，能够将热负载消除到最低并减少残留碎屑。Energetiq的无电极Z-Pinch技术有卓越的空间稳定性和稳定的可重复输出功率。
EQ-10是一款紧凑、易用、可靠且性价比高的EUV光源，基于Energetiq使用氙气的无电极Z-Pinch技术。EQ-10 EUV光源特别适合测量学和研究应用。EQ-10 EUV光源的模块化设计使之很容易集成到工艺设备中。系统包括无电极Z-Pinch光源组装、真空和气体子系统、功率输出子系统和控制电路。EQ-10可以在2π球面度输出高达10W的EUV功率，并以高达2KHz的脉冲重复频率连续运行。
性能
1、使用氙气在2π球面度输出10W
2、高达2KHz脉冲重频率
3、小等离子体尺寸
4、低残留
5、低成本
6、氙气流速低
7、将消耗成本降至最低
8、占地面小
可靠性
1、无电极Z-Pinch专利技术
2、符合CE标志和SEMI S2-0703
应用
1、EUV度量学
2、耐EUV开发
3、缺陷检测
4、EUV显微学
杭州谱镭光电技术有限公司(HangzhouSPL Photonics Co.,Ltd)是一家专业的光电类科研仪器代理商，致力于服务国内科研院所、高等院校实验室、企业研发部门等。我们代理的产品涉及光电子、激光、光通讯、物理、化学、材料、环保、食品、农业和生物等领域，可广泛应用于教学、科研及产品开发。
我们主要代理的产品有：微型光纤光谱仪、中红外光谱仪、积分球及系统、光谱仪附件、飞秒/皮秒光纤激光器、KHz皮秒固体激光器、超窄线宽光纤激光器、超连续宽带激光器、He-Ne激光器、激光器附件及激光测量仪器、光学元器件、精密机械位移调整架、光纤、光学仪器、光源和太赫兹元器件、高性能大口径瞬态（脉冲）激光波前畸变检测干涉仪（用于流场、波前等分析）、高性能光滑表面缺陷分析仪、大口径近红外平行光管、Semrock公司的高品质生物用滤波片以及Meos公司的光学教学仪器等。
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