产地：德国； 品牌：Diener Electronic
该PECVD系统可以沉积高质量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、类金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜等。
主要技术参数：
PC控制软件
RF发生器 0~3000W 脉冲模式
腔体防腐处理，400*400*1500mm,240L
腔体加热80℃
带观察窗
多路工艺气体通道，MFC控制 防腐处理
HMDSO单体通道
易燃易爆气体安全阀
Gas Shower气浴电极
设备外尺寸2000*600*1700mm
进口真空泵组
电压 3项400V
产品描述
