产品简介

DMD无掩膜光刻机

高速、广范围、低价格DMD式无掩膜光刻机！

AU-PALET光刻机是一款紧凑的DMD式无掩膜光刻机拥有高速、广范围、低价格、高分辨率、操作简单和可靠性高等特点。

DMD式无掩膜光刻机无需制造掩膜，采用DMD数字掩膜,可在抗蚀剂内曝光所希望的任意图案。无掩膜光刻机可以读取任何CAD数据，除此之外DMD式无掩膜光刻机还可以读取Bitmap, PNG, DXF, GDSⅡ等其它格式。DMD式无掩膜光刻机使用365nmLED光源，降低价格的同时实现了稳定的曝光。采用10倍物镜，一次曝光面积可达1mm′0.6mm，曝光时间仅需1s。结合电动移动平台，可实现曝光拼接，分辨率可达到3mm。可通过公司编写的软件完成详细设定，使操作简洁方便。

与传统的光刻机不同，AU-PALET光刻机采用DMD数字掩膜光刻技术，无需制造掩膜。大大降低了时间和成本。无掩膜光刻机可以读取任何创建的CAD文件，直接进行光刻。除了CAD文件，还可以读取丰富的其它格式的数据，例如Bitmap, PNG, DXF, GDSⅡ等。

AU-PALET DMD式无掩膜光刻机采用短波段的LED灯为光源，相对于其它的光源，拥有更高的稳定性和更长的寿命，降低价格的同时实现了稳定的曝光。AU-PALET 无掩膜光刻机为面曝光，采用10倍的物镜，一次曝光面积可达到1mm′0.6mm，结合电动平移台可实现曝光拼接，可达到更大的曝光面积。可通过公司编写的软件完成简单操作和详细设定，操作简洁方便。

上海昊量光电设备有限公司推出的DMD式无掩膜光刻机有两种。

①  AU-PALET是一款快速光刻的无掩膜光刻机。本装置采用375nm的LED光源，实现了稳定的曝光，并且拥有更高的稳定性和更长的寿命。采用10′的物镜曝光面积达到1mm′0.6mm，光刻分辨率达到5mm，并在10s 内完成曝光。

②   

②AU-PALET-_new 是AU-PALET的升级版本，在光源上采用波长更短的365nm的LED灯作为光源，采用10′的物镜曝光面积达到1mm′0.6mm，光刻分辨率达到3mm，并在1s 内完成曝光。

u  主要特点 

l  高速度（1s）

l  广范围（1′0.6mm）

l  365nm LED光源

l  高分辨率 （3mm）

l  成本低

u  主要应用

磁性薄膜等的任意形状的图案的形成

传感器，半导体器件的制作

MEMS器件的试制、

光电子，LED的试制

微流体器件的试制

掩膜版制作

细胞分离通道等的制作

光波导路的制作

u  主要参数