产品描述
基于四波横向剪切干涉技术的波前传感器，具有高分辨率、消色差、高灵敏度、高动态范围、操作简便等特点。
关键词：波前探测器，波前分析仪，波前传感器，wave front sensor，波前测试，激光光束分析，镜片面型分析，Phasics，法国Phasics公司，Shack-Hartmann，沙克哈特曼分析仪，哈特曼分析仪
Phasics波前分析仪
法 国Phasics公司自主研发的波前传感器是基于四波横向剪切干涉技术(4- Wave Lateral Shearing Interferometry) ，较传统的Shack-Hartmann技术具有独特的优势，具有高分辨 率、消色差、高灵敏度、高动态范围、操作简便等特点，为波前测量与光束分析提供了全新的解决方案！其配套软件界面友好，可输出高分辨率相位图与光束强度分 布图 。
Phasics雄厚的技术实力，能为客户提供各种自适应光学系统OASys(adaptive optics loops)的解决方案。根据客户需求，推荐使用合适的SID4波前传感器、可变形镜或液晶相位调制器、自适应光学系统软件等。
Phasics 公司的所有产品都是建立于其波前测量专利技术之上，即四波横向剪切干涉技术（4- Wave Lateral Shearing Interferometry）。在改进型哈特曼掩模的基础之上，这种独特技术将超高分辨率和超大动态范围 完美结合在了一起。任何应用下，其都能实现全面、简便、快速的测量。
型号 | SID4 | SID4-HR | SID4 UV-HR | SID4 NIR | SID4 DWIR | SID4-SWIR |
孔径 | 3.6 x4.8mm2 | 8.9 x11.8mm2 | 8.0 x8.0mm2 | 3.6x4.8mm2 | 13.44x10.08mm2 | 9.6x7.68mm2 |
空间分辨率 | 29.6μm | 29.6μm | 32μm | 29.6μm | 140μm | 120μm |
测量点数 | 160x120 | 300x400 | 250x250 | 160x120 | 96x72 | 80X64 |
波长范围 | 350-1100nm | 350-1100nm | 190-400nm | 1.5-1.6μm | 3-5μm和8-14μm | 0.9- 1.7μm |
准确度 | 10nm RMS | 10nm RMS | 10nm RMS | >15nm RMS | 75nm RMS | 10nm RMS |
动态范围 | >100μm | >500μm | >200um | >100μm | / | ~100μm |
采集速度 | 60 fps | 10 fps | 30 fps | 60 fps | 50 fps | 25/30/50/60fps |
处理速度 | >10fps | >3 fps | 1fps | <10fps | 20 Hz | >10Hz |
SID4: 一款紧凑型的波前传感器
SID4波前传感器体积小巧，结合了传统的剪切干涉的优势，安装使用简单。我们的优势在于四波横向剪切干涉技术（基于改善后的哈特曼衍射遮挡板）。SID4是测量光束特性的必要工具，在光学测量方面有着许多应用。
波长范围：350-1100nm
分辨率高（160x120）
消色差
测量稳定性高
对震动不敏感
操作简单，Firewire IEEE 1394
结构紧凑，体积小
可用笔记本电脑控制
SID4 HR:高分辨率波前传感器
SID4-高分辨率波前传感器可应用于光学测量领域。其可实现300x400个测量点的相位图，保证了高精度测量，可用于对各种光学器件的测量，如透镜，物镜，球面镜，微透镜特征测量等。
波长范围：350-1100nm
高性能的相机，信噪比高
实时测量，立即给出整个物体表面的信息（120000个测量点）
曝光时间极短,保证动态物体测量
操作简单
SID4 UV-HR: 高分辨紫外波前传感器
PHASICS公司将 SID4的波前测量波长范围扩展到190nm-400nm。SID4 UV-HR是一款适用于紫外波段的高分辨率波前传感器,非常适用于光学元件测量（例如印刷、半导体等等）和表面检测（半导体晶片检测…）。
高分辨率（250x250）
通光孔径大（8.0mmx8.0mm）
覆盖紫外光谱
灵敏度高（0.5um）
优化信噪比
SID4 NIR: 高分辨率红外波前传感器
SID4 NIR是一款覆盖近红外范围（1.5μm-1.6μm）的高分辨率波前传感器。
可用于光学测量，SID4 NIR是测量红外物体和红外透镜像差、PSF、MTF和焦距及表面质量的理想工具。
高分辨率（160x120）
绝对测量
快速测量
对振动不敏感
性价比高
SID4 DWIR: 高分辨、双波段红外波前传感器
PHASICS推出了业界第一款高分辨率双波段红外波前传感器(from 3 μm to 5 μm and from 8 μm to 14 μm)SID4 DWIR
光学测量：SID4 DWIR是测量红外物体特性（热成像和安全视觉）或红外透镜（CO2激光器）的理想工具，输出结果包括MTF，PSF，像差，表面质量和透镜焦距。
光束测量：（CO2激光器，红外OPO激光光源等等）SID4 DWIR提供详尽的光束特性参数：像差，M2，光强分布，光束特性等
高分辨率（96x72）
可实现绝对测量
可覆盖中红外和远红外波段
大数值孔径测量，无需额外中转透镜
快速测量
对振动不敏感
可实现离轴测量
性价比高
SID4软件介绍
与SID4 波前传感器配套提供的是一款完整的分析软件，其集成了高分辨率的相位图与强度分布图，测量光强分布和波前信息。借助Labview和C++ 可编程模块数据库（软件二次开发工具包），客户能够根据自身的需要编写各种相位测量与编译模块。
adaptive optics loops 将SID4 wavefront sensor结合您的应用，选配合适的可变形镜或相位调制器，提供整套的自适应光学系统。减小任何一个光学系统的相差从 来都不是简单的，我们的产品能为激光光束和成像系统带来更可靠，高精度的解决方案。
传统的测量结果与Phasics的测量结果对比：
光学测量软件Kaleo
Phasics基于剪切干涉的波前传感器与专门设计的光学测量软件Kaleo结合，可以测量球面镜和非球面镜的像差及MTF等信息。只需要几秒钟，我们的仪器为您呈现绝大部分的光学参数，如焦距，光腰，MTF，像差，Zernike系数，曲率半径，PSF等。
夏克-哈特曼探测器和PHASICS探测器比较
PHASICS | Shack-Hartmann | 区别 | |
技术 | 四波横向剪切干涉 | 夏克-哈特曼 | 是对夏克-哈特曼技术的改进，投放市场时，已经申请技术专利。 |
重建方式 | 傅里叶变换 | 分区方法（直接数值积分）或模式法（多项式拟合） | SH：夏克-哈特曼波前探测器，局域导数以微透镜单元区域的平均值来近似。对于大孔径的透镜单元，可能会增加信号误差，并且，在某些情况下，产生严重影响。 在分区方法中，边界条件很重要。 |
强度 | 由于采用傅里叶变换方法，测量对强度变化不敏感 | 由于需要测量焦点位置，测量对强度变化灵敏 | Phasics：测量精度，波前测量不依赖于强度水平 |
使用、对准方便 | 界面直观，利用针孔进行对准 | 安装困难，需要精密的调节台 | Phasics： 产品使用方便 |
取样（测量点） | SID4-HR达300X400测量点 | 128X128测量点（多个微透镜） | Phasics：具有很高的分辨率，这使得测量更可靠，也更稳定 |
数值孔径 | SID4 HR NA：0.5 | NA：0.1 | Phasics：动态范围更高 |
空间分辨率 | 29.6μm | 115μm | Phasics：具有更好的空间分辨率 |
重复性（rms） | 2nm RMS | λ/200( 5nm @1053 nm) | Phasics：更好的重复率，更稳定 |
获取频率 | 10fps | 7.5fps | Phasics：分析速度快 |
处理频率 | >3Hz（全分辨率） | 5Hz | |
照度 | phasics的技术可以消色差。系统对不同波长和带宽响应一致。无需对每个波长进行校准。 | 夏克-哈特曼技术基于微透镜，其特性依赖于波长（由于玻璃色散）。仪器需要在每个波长处校正。 | PHASICS更灵活：可以测试宽波段，而不需要校准。 |
