微步进电机与PZT压电陶瓷驱动的超大扫描角度的复合轴快速反射镜。

德国TEM开发的快速反射镜是采用微步进电机与PZT压电陶瓷相结合的复合驱动结构，不仅拥有电机驱动的大量程的特点，又集成了PZT压电陶瓷驱动的高速高分辨率的特点，极大拓展了快速反射镜的适用范围与使用寿命。

关键词：快速反射镜，快速控制反射镜，FSM，快速倾斜镜，快速倾斜反射镜，PZT驱动快速控制反射镜，压电陶瓷驱动快速反射镜

快速反射镜

德国TEM开发的快速反射镜是采用微步进电机与PZT压电陶瓷相结合的复合驱动结构，不仅拥有电机驱动的大量程的特点，又集成了PZT压电陶瓷驱动的高速高分辨率的特点，极大拓展了快速反射镜的适用范围与使用寿命。

产品特点：

?  反馈精度: < 1 μm, < 1 μrad (最低可达 10-100 nm)

?  超大扫描范围: > 18°

?  高速度:伺服频宽超过5 kHz

?  PZT驱动制动器和机械装置多种组合

?  全计算机控制 (USB, 串口, 局域网) ，完全独立操作

快速反射镜类别：

Aligna 60/40:微步进电机快速反射镜基座60x60 mm/40x40 mm

? 两个极微等步细分线制动器

? 手动调节滚花旋钮

? 双轴引用光编码器

? 多种反射镜或其他组件安装方式

(1", 1/2", 2", 和其他任意厚度)

Aligna MoPiA 60/40:微步进电机+PZT驱动快速反射镜基座60x60 mm/40x40 mm

? 两个极微等步细分线制动器

? 手动调节滚花旋钮

? PZT压电扫描器

? 双轴引用光编码器

? 多种反射镜或其他组件安装方式

(1", 1/2", 2", 和其他任意厚度)