德国TEM公司研发的4D PSD位敏探测器，采用两个2D PSD探测器与相关光学元件的有机组合，能够严格探测区分光束的位置漂移与角度漂移，分辨率达到nm级别。

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PSD位敏探测器

德国TEM公司研发的4D PSD位置敏感探测器，采用两个2D PSD探测器与相关光学元件的有机组合，能够严格探测区分光束的位置漂移与角度漂移，分辨率达到nm级别。

PSD 4D i: PSD位敏探测器（工业级）

? 4维测量： 位置 X，Y 和角度 X，Y

? 连续光和脉冲激光器

(检验光束功率，连续光： 100 μW-10 mW，脉冲：>10 nJ)

? 高精确度： < 1 μm，< 1 μrad

PSD 4D e: PSD位敏探测器（实验级）

?  类似 "PSD 4D i"，但是离散元件PSD4D i

?  易于适应实验装置和更高的精确度： < 10 nm，< 10 nrad

PSD 2D:  2DPSD位敏探测器(连续光或脉冲)

?  独立使用，或组合成4维PSD使用

?  标准波长： 380nm-1100nm

?  定制波长： 180 nm-2600 nm

PSD紫外增强型晶片组

?  升级 PSD 4D 到紫外/极紫外

?  PSD晶片组直径 4mm, 10mm