FemtoLAB是专门为科学实验研究开发的飞秒激光微加工系统。FemtoLAB系统配置了达到纳米级精度和分辨率的线性定位平台,高性能扫描振镜以及通用微加工软件SCA,是一套在光学平台上应用的完整飞秒激光加工实验室。
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FemtoLAB是专门为科学实验研究开发的飞秒激光微加工系统(飞秒激光微纳加工系统)。FemtoLAB系统配置了达到纳米级精度和分辨率的线性定位平台,高性能扫描振镜以及通用微加工软件SCA,是一套在光学平台上应用的完整飞秒激光实验室。WOP飞秒激光微加工系统通常根据科研人员的特殊需求和应用而制造。
产品特点:
? 高速精密微加工
? 高级飞秒激光器PHAROS
? 亚微米分辨率加工难处理物件
? 飞秒微加工模式下极小的热影响区
? 纳米精度物件定位
? 使用扫描振镜激光束精确引导
? 激光参数便捷修改
? 软件控制所有集成化硬件设备
参数可调:
? 脉冲持续时间(<200 fs – 10 ps)
? 重复频率(1 – 1000 kHz)
? 平均功率(达12W)
? 波长(1030, 515, 343, 258 nm)
操作方便:
l 使用显微镜转台谐波转换(多达4)
l 使用显微镜转台切换聚焦光学元件
l 使用共聚焦系统测定焦斑
l 自动CCD成像校准
l CCD自动聚焦在样品表面
l 自动测定样品倾斜度
l 成像和视频采集过程
l 制造轨迹和CCD视图叠加
l 实时过程跟踪
l 键盘操纵
FemtoLAB飞秒激光微加工系统(飞秒激光微纳加工系统)是实施飞秒激光微加工领域实验工作的理想平台。系统可以在既有光学平台上装配,完全组装需要的空间小于1 m x 2.5 m.
完整配置包括:
l 飞秒激光器PHAROS
l 带有光束传输的SH,TH,FH发生器
l 用于振荡输出的SH发生器
l XYZ试样定位系统
l 扫描振镜(安置在XYZ上或通过4F光学系统传递)
l 为WATT PILOT配置4个衰减器
l 4个偏振旋转器
l 自聚焦和机器视觉单元
l SLM或其它波束成形器
l 切换谐波反射镜和聚焦光学器件的转台