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NanoCalc薄膜反射测量系统
产品属性
品牌
产地
型号
NanoCalc
关注度
43
信息完整度
关闭
产地:; 品牌:
杭州谱镭光电技术有限公司
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产品描述
薄膜的光学特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射测量系统可以用来进行10nm~250µm的膜厚分析测量,对单层膜的分辨率为0.1nm。根据测量软件的不同,可以分析单层或多层膜厚。
产品特点
1、可分析单层或多层薄膜
2、分辨率达0.1nm
3、适合于在线监测
操作理论
zei常用的两种测量薄膜的特性的方法为光学反射和透射测量、椭圆光度法测量。NanoCalc利用反射原理进行膜厚测量。
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